新品BROOKS流量计

发布时间：2026-09-02 03:16:01

品牌	BROOKS	型号	GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000
原理	变面积式流量计	用途	耐腐蚀性流量计
公称通径	66mm	工作压力	44MPa
适用介质	33	工作温度	78℃
测量范围	89m3/h	精度等级	99
测量精度	66	安装形式	43
流量范围	38	加工定制	否
重量	88kg	产地	美国
厂家	BROOKS

　　上海轶舜国际贸易有限公司销售美国BROOKS流量计、BROOKS质量流量控制器、BROOKS变送器、BROOKS压力传感器、BROOKS真空计、BROOKS调节器等全系列产品。

　　BROOKS流量计中国供应商：上海轶舜国际贸易有限公司——您身边的Brooks Instrument渠道伙伴

　　在半导体制造、光伏新能源、生物医药、特种气体及科研实验等工业领域，气体流量的控制直接决定着产品良率与工艺稳定性。作为热式质量流量控制器（MFC）领域的，Brooks Instrument（布鲁克斯仪器）以其精度、超快的响应速度和高的可靠性，被晶圆厂和设备厂商广泛采用。而在中国市场，上海轶舜国际贸易有限公司正是您采购BROOKS流量计、质量流量控制器及相关配套产品的可靠渠道。

　　一、关于 Brooks Instrument：

　　Brooks Instrument总部位于美国，是流量测量与控制设备制造商，拥有超过七十年的行业积淀。其产品覆盖热式质量流量控制器（MFC）、质量流量计、压力控制器、液位计及真空测量设备等多个品类，广泛应用于半导体、平板显示、LED、光伏、特种气体、分析仪器及科研院所等对气体控制精度要求高的领域。

　　在半导体行业，Brooks的GF系列金属密封MFC几乎成为行业标配。从3 sccm的微量气体控制到300 slpm的大流量输送，Brooks以全金属密封流路、Hastelloy耐腐蚀传感器、MultiFlo多气体多量程可编程技术以及 EtherCAT/DeviceNet/RS-485 等丰富的通信接口，满足了从先进制程到传统工艺的需求。

　　二、核心产品推荐：BROOKS GF100 系列质量流量控制器

　　以上海轶舜国际贸易有限公司常备库存的BROOKS GF100 系列为例，该系列是 Brooks 面向高纯度气体应用推出的旗舰级金属密封 MFC，具备以下核心优势：

　　- 超宽量程覆盖：标准型覆盖 3 sccm 至 55 slpm（N当量），大流量型（GF101/GF121/GF126）延伸至 300 slpm，满足不同工艺场景。

　　- 精度：流量精度达 ±1% S.P.（20–100量程），重复性 ±0.15% S.P.，长期零点漂移≤±0.15% F.S./ 年，确保长期稳定运行。

　　- 超快响应：常闭阀响应时间低至 300 ms–1 秒，提升设备产能与晶圆间一致性。

　　- 全金属密封流路：接液材料采用 316L VIM/VAR 不锈钢、Hastelloy C-22 等材料，支持 5 μinch 或 10 μinch Ra 表面光洁度选项，外部泄漏率低至 1×101 atmcc/sec He。

　　- MultiFlo技术：一台设备支持数千种气体类型和量程组合，无需拆管即可通过软件切换，大幅降低备件库存成本。

　　- 丰富通信接口：支持 EtherCAT、DeviceNet、RS-485 及模拟0-5 Vdc，适配各类主流半导体设备控制系统。

　　以典型型号GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000为例，该型号为 2.6 slpm 满量程、1/4" VCR 接口、常闭阀、EtherCAT 通信、真空下游应用配置，广泛用于刻蚀、CVD 等工艺腔的气体输送。上海轶舜国际贸易有限公司可提供从选型咨询、型号确认到供应的一站式服务。

　　除GF100系列外，公司还供应 Brooks 全系列产品，包括 GF120/GF125（更快响应、压力瞬态不敏感）、GF120XSL/GF120XSD（SDS 输送系统）、SLA5850/SLA7850 系列（橡胶密封经济型 MFC）、Quantim 系列科里奥利质量流量控制器以及压力控制器、真空计等配套产品。

　　三、为什么选择上海轶舜国际贸易有限公司

　　上海轶舜国际贸易有限公司是一家专注于进口工业仪器仪表及自动化设备的国际贸易企业，公司位于中心上海，依托浦东国际机场及洋山深水港的物流优势，可为客户提供快捷的交货服务。

　　公司核心优势包括：

　　1. 渠道可靠：所有BROOKS产品均来自正规渠道，可提供原厂出厂校准证书及完整的产品溯源信息，没有翻新、产品。

　　2. 选型，技术支持：公司拥有经验丰富的技术团队，可根据客户的气体类型、量程、接口、通信协议、下游压力等工艺参数，提供型号匹配与替代方案咨询。

　　3. 库存，快速交货：针对半导体行业常用型号备有库存，常规型号交货周期短，急单可协调空运，大限度缩短客户等待时间。

　　4. 完善，服务无忧：提供产品安装指导、故障排查、原厂维修校准对接等全生命周期服务，解决客户后顾之忧。

　　5. 价格透明，诚信经营：公司坚持公开透明的报价体系，批量采购可享受优惠价格，支持合同签订、增值税专用发票等正规商务流程。

　　四、服务领域与客户群体

　　上海轶舜国际贸易有限公司服务的客户群体涵盖：

　　- 半导体制造：晶圆厂、封测厂、半导体设备厂商（刻蚀机、CVD、PVD、离子注入机等）

　　- 光伏与新能源：光伏电池片制造、氢能、燃料电池、锂电池涂布等