单槽半导体超声波清洗机

　　单槽半导体超声波清洗机是专为半导体精密元器件定制的高精度工业清洗设备，聚焦半导体生产、封装、检测环节的微污渍清洗需求，依托超声波空化效应实现无损、全域、全方位清洗。设备采用一体化单槽集成结构，精简设备体积与操作流程，兼顾高精度清洗性能与灵活实用性，适配半导体实验室试样清洗、小批量精密工件量产清洗、返工返修件清洁等多场景，可高效去除工件表面微颗粒、粉尘、光刻胶残留、助焊剂、油污、氧化层等杂质，是半导体精密制造领域提升产品良率、保障器件性能的核心配套设备。设备搭载高频超声波发生系统，通过高Q值换能器将高频电信号转化为高频机械振动，传导至清洗液中产生密集微小空化气泡。气泡在瞬间生成、破裂的过程中产生极强的击水流与湍流，能够深入半导体元器件的微孔、缝隙、盲孔及不规则表面，剥离附着的微米级、亚微米级污染物。全程纯物理清洗方式，无化学腐蚀、无机械磨损，不会损伤硅片、芯片、精密引脚等脆弱半导体基材，完美适配半导体器件高精度、零损伤的清洗标准。

　　整机槽体采用加厚304/316L不锈钢一体冲压成型，无缝焊接工艺，内壁光滑，耐酸碱腐蚀、耐高温、不易滋生杂质，适配半导体专用清洗溶剂与纯水清洗工况，长期使用不变形、不生锈，满足半导体洁净生产要求。搭载工业级第四代智能超声波发生器，匹配进口高Q值BLT换能器，功率输出稳定、转换效率高、振动均匀性好，支持功率、频率微调，可根据不同半导体工件材质、污渍类型调节清洗强度，杜绝虚振、弱振问题，保障全域清洗一致性。配备全自动恒温加热模块，温控范围30℃-110℃可调，数码实时显示温度，恒温误差≤±1℃，可辅助加速顽固污渍分解，同时适配半导体清洗工艺的温度标准，避免高温损伤精密器件。搭载低液位自动保护功能，缺水自动断电停机，杜绝干烧故障，保障设备运行安全。采用高清触摸屏数显操控界面，支持清洗时间、超声功率、恒温温度、扫频模式自定义设定，一键启动自动清洗程序，操作简单便捷。自带智能扫频功能，有效消除驻波盲区，解决工件局部清洗不干净问题，大幅提升清洗均匀度。标配不锈钢清洗篮、密封防尘盖，可搭配循环过滤系统选配，实现清洗液过滤循环使用，减少耗材损耗、降低清洗成本；设备支持24小时连续稳定作业，适配常态化生产清洗需求。

　　设备广泛应用于半导体制造、芯片封装、光电半导体、微电子、精密电子等行业，核心适配工件包括：硅片、锗片、等半导体晶圆基材；集成电路IC、功率管、二极管、三极管等半导体器件；半导体引线框架、封装载板、陶瓷基板、精密毛细管；半导体生产治具、托盘、模具、检测工装等。主要用于去除生产加工过程中产生的微粉尘、颗粒杂质、光刻胶残胶、助焊剂残留、表面油污、氧化皮等污染物。

公司名称：易成（天津）机械科技有限公司

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