蔡司复合式影像测量仪

　　司EVO 10 全自动扫描电子显微镜

　　核心参数（精度/范围）

　　- 分辨率（精度）- 二次电子像（SE，高真空）：≤3.0 nm @30 kV；≤8.0 nm @3 kV

　　- 背散射电子像（BSE，低真空）：≤4.0 nm @30 kV

　　- 样品台定位精度：2 μm

　　- 加速电压范围：0.2 kV～30 kV

　　- 放大倍数范围：7×～1,000,000×

　　- 探针电流范围：0.5 pA～5 μA

　　- 真空模式：高真空（＜10?? Pa）；可变真空（10～400 Pa）

　　- 样品台行程：X=80 mm、Y=100 mm、Z=35 mm；倾斜-10°～90°；旋转360°

　　需要我把这些参数整理成一页式对比表（含常见配置与选型建议）吗？

　　蔡司 EVO 10 扫描电镜 测量范围 + 精度（标准版）

　　一、测量范围

　　1. 加速电压范围：0.2kV～30kV

　　2. 放大倍率范围：7倍 ～ 100万倍

　　3. 探针电流范围：0.5pA ～ 5μA

　　4. 样品台移动范围

　　X：80mm，Y：100mm，Z：35mm

　　倾斜：-10°～90°，旋转：360°连续

　　5. 真空范围

　　高真空：＜10?? Pa

　　可变真空：10～400 Pa

　　二、核心精度（分辨率/定位）

　　1. 成像分辨率（核心精度）

　　- 高真空SE像 @30kV：≤3.0 nm

　　- 高真空SE像 @3kV：≤8.0 nm

　　- 低真空BSE像 @30kV：≤4.0 nm

　　2. 样品台定位精度：2 μm

　　3. 尺寸测量重复性精度：优于1%（标准标

公司名称：东莞市华熙设备科技有限公司

联 系 人：黄伯益

手 机：13318449666

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