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发布时间:2026-09-01 11:47:22

非接触式测厚仪相较于接触式设备,数据追溯与管理能力更加完善。传统接触式测厚设备多为单机简易检测模式,能实时显示单次厚度数据,缺少系统化的数据存储、分类、溯源功能,难以满足半导体行业标准化的制程追溯要求。非接触式测厚仪可自动记录每批次工件的检测时间、点位、数值、批次信息,自动分类存储检测数据,支持数据导出、查询、对比分析。能够完整留存制程质控数据,方便工作人员开展工艺复盘、异常排查与参数优化,适配半导体数字化质控管理模式。ALD 超薄薄膜制备产线,非接触式测厚仪原子级分辨测厚适配极薄功能性薄膜检测需求。黑龙江白光干涉非接触式测厚仪

非接触式测厚仪可用于半导体半成品流转检测,把控制程中间品质。半导体生产工序链条较长,基材加工、镀膜、光刻、封装等多道工序流转中,半成品容易出现厚度参数偏移问题。在工序流转节点设置该设备,可完成半成品厚度抽检,及时发现制程参数异常。相较于末端成品检测,中间工序检测可提前排查问题,避免批量半成品持续加工产生大规模不良品。通过分段式厚度管控,锁定参数偏差出现的工序节点,减少后续无效加工,提升整体生产良品率。黑龙江白光干涉非接触式测厚仪晶圆边缘环边镀膜检测,非接触式测厚仪重点监测边缘薄膜厚度消除边缘工艺异常缺陷。

针对柔性半导体器件检测,非接触式测厚仪相比接触式设备优势突出。柔性芯片、柔性薄膜电路、可弯曲封装基材等器件柔韧性高、支撑性差,接触式设备的按压接触会让工件产生不可逆形变,不仅破坏产品结构,还会导致检测数值严重失真,无法反映真实制程品质。非接触式测厚仪全程无物理按压、无表面摩擦,不会对柔性器件产生任何形变影响,能够在工件保持原始状态的前提下完成厚度检测。适配各类柔性半导体器件的���产质检与工艺调试,助力柔性半导体产品的规模化生产落地。
设备可应用于半导体封装胶层厚度检测,优化封装制程品质。芯片封装环节会涂抹环氧树脂、防水胶、绝缘胶等各类胶层,胶层厚度会影响芯片的散热效果、绝缘性能和结构稳定性。胶层过厚易出现固化不充分、鼓包问题,过薄则无法起到有效的防护绝缘作用。非接触式测厚仪可对封装后的胶层厚度进行全域检测,排查局部胶层缺失、厚度不均等问题。检测过程不会挤压柔软的固化胶层,避免造成胶层变形、开裂,有效提升芯片封装环节的品质管控力度。进口晶圆来料入关抽检,非接触式测厚仪快速测厚核验产品参数是否符合采购技术协议。

设备可用于半导体光刻胶层厚度检测,稳定光刻制程工艺。光刻是芯片线路成型的关键工序,光刻胶层的厚度均匀性会直接影响线路刻蚀精度,胶层过厚或过薄都会导致线路成型瑕疵。人工检测难以判断胶层细微厚度差异,传统接触设备易挤压胶层造成形变。非接触式测厚仪通过光学感应检测胶层厚度,不会破坏未固化的光刻胶结构,可快速检测整片晶圆胶层的厚度分布情况。工作人员依据检测数据调整涂胶转速、胶量参数,优化涂胶工艺,减少光刻制程的不良品产出。晶圆键合预处理厚度检测,非接触式测厚仪测界面薄膜厚度保障两片晶圆键合粘接牢固度。安徽自动走位非接触式测厚仪一般多少钱
CVD 二氧化硅薄膜沉积后,非接触式测厚仪快速检测膜厚保障绝缘层工艺参数标准化生产。黑龙江白光干涉非接触式测厚仪
该设备可实现非破坏性检测,适配半导体试样与成品的全阶段检测。半导体研发试样、小批量试制的工件制作成本较高,部分试样具备性试制价值,传统接触式检测存在损伤工件的风险,无法用于成品试样检测。非接触式测厚仪依靠光学感应采集数据,不会对工件表面结构、镀膜层、电路层产生任何破坏,检测后的工件可正常投入后续工序或性能测试。在新品工艺调试阶段,工作人员可反复对同一样品进行多次检测,积累多组数据用于工艺分析,有效降低试样损耗成本,助力工艺迭代优化。黑龙江白光干涉非接触式测厚仪
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