硅基光学相控阵小型化 深圳力策科技供应

　　在应用层面，全固态OPA激光雷达预计在2028年前后实现前装量产，成为L4/L5级自动驾驶的重要传感器；自由空间光通信终端将在低轨卫星星座中得到普遍部署，支撑*宽带覆盖；而在生物医学和消费电子（如AR/VR空间光操控）领域，OPA也将迎来爆发性增长。当然，要实现这一蓝图，还需在芯片制造良率、热管理方案、标准化接口和成本控制上付出持续努力。总体而言，光学相控阵正从实验室走向产业化的关键转折期，其技术深度和广度都决定了它将成为未来光电子领域的战略性支撑技术之一。利用OPA可实现空间光场的时间编码与快速调制。硅基光学相控阵小型化

　　国内洛微科技、一径科技和力策科技等初创公司也相继发布了自己的OPA芯片样机。然而，OPA激光雷达仍面临几大产业化障碍：一是芯片制造良率低，尤其是大规模波导阵列的相位一致性难以保证，需每片单独校准；二是激光光源耦合效率有限，且高功率激光注入芯片易引发非线性效应和热应力；三是环境适应性——在-40℃~85℃车规温度范围内，硅材料的热光系数变化会导致相位漂移，必须集成片上温度传感器和自适应补偿回路。克服这些问题需要上下游产业链协同攻关，预计未来3~5年内，随着工艺成熟和算法完善，OPA激光雷达将逐步走向量产。反射式光学相控阵检测光学相控阵技术正从实验室走向实际的工程化应用。

　　光学相控阵（Optical Phased Array，OPA）是一种通过对阵列中每个辐射单元的相位进行***调控，从而实现出射光束波前重塑和空间指向控制的固态光电器件。其物理基础源于惠更斯－菲涅耳原理——当一束相干光被分成多路子光束并分别经过不同相位延迟后，各子光束在远场区域发生干涉叠加，合成波前的等相位面法线方向即决定了主光束的传播方向。通过线性改变相邻单元之间的相位差Δφ，可以使得主波束在空间中以特定角度θ偏转，其定量关系由光栅方程 d·sinθ = (λ/2π)·Δφ 描述（d为阵元间距，λ为工作波长）。这一机制与微波相控阵雷达如出一辙，但由于光波波长*为微米量级，使得OPA在相同孔径尺寸下可获得比微波系统高数个量级的角分辨率和指向精度，理论上可达到微弧度量级。然而，极短的波长也带来了严苛的制造约束——阵元间距必须远小于毫米级，这对光刻精度和波导加工提出了纳米级要求；同时，为实现无栅瓣的连续扫描，阵元间距通常需满足半波长条件（d ≤ λ/2），这在近红外波段意味着间距需小于400纳米，极大限制了阵列规模和可实现的扫描角度。

　　2025年4月，扬州群发光芯科技有限公司的硅光OPA中试线正式投产，这是*首条实现硅基光学相控阵芯片规模化制备的产线。该硅光研发平台从2023年11月奠基，到2025年4月底投产，*用18个月即完成了从零到规模化生产的跨越。这条生产线采用***的基于波长调制的3D OPA硅光技术。这一产业化里程碑意味着光学相控阵技术正式从实验室研究阶段迈入规模化制造阶段。在此之前，硅基OPA芯片的制备主要依赖高校和研究所的实验室工艺线，产能极为有限、良率不稳定、成本居高不下，严重制约了其在激光雷达、光通信等领域的商业化应用。中试线的投产将有望大幅降低OPA芯片的制造成本、提升产品一致性和可靠性，为全固态激光雷达的量产铺平道路。OPA能够同时形成多个波束，实现多目标跟踪。

　　AI大模型训练对集群内互连带宽的需求以每年数倍的速度增长，传统铜互连在传输距离、带宽密度和功耗方面已接近物理极限。OPA硅光芯片为这一困境提供了根本性的解决方案。在带宽方面，光互连的传输速度约是电子芯片的千倍；在延迟方面，光信号在芯片间的传输延迟接近光速，远低于电信号在铜线上的传输延迟；在功耗方面，光互连的能耗比电互连低一个数量级以上。曦智科技发布的光跃LightSphere X分布式全光互连芯片及超节点解决方案，是国内较早光互连光交换的GPU超节点方案，已即将落地上海仪电的国产算力集群。这一方案的重要正是基于光学相控阵技术的光交换和光互连能力。随着AI模型参数规模从千亿迈向万亿，OPA光互连将成为支撑超大规模AI算力集群的“神经网络”。OPA用于增强现实显示，可动态调控虚拟光场。微纳平台光学相控阵周期

　　相位差连续变化驱动着光束在空间中平滑扫描。硅基光学相控阵小型化

　　集成光波导型光学相控阵是当前更受瞩目的研究方向，其重要思想是在芯片上将分光网络、移相器阵列和光栅发射器全部单片集成，形成紧凑、低功耗、可大规模生产的固态光束操控器件。绝缘体上硅（SOI）平台因具有与CMOS工艺高度兼容、高折射率差（Δn≈2）、低传输损耗（约1~2 dB/cm）以及成熟的无源/有源器件库等优势，成为OPA芯片的主流基底。典型的硅基OPA结构包括：输入波导将外部激光耦合至芯片，经1×N分束器（如多模干涉耦合器或星型耦合器）等功率分配至N条并行波导；每条波导中集成热光移相器（TiN或W加热器）或电光移相器（载流子注入/耗尽型PIN结），用以单独调控相位；波导末端连接至光栅耦合器或端面发射天线，将导波模式辐射至自由空间。硅基光学相控阵小型化

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