德国ATV真空回流炉

　　概述

　　"ATV公司于1972年成立于德国慕尼黑，业务专注于真空热处理工艺设备，主要应用在混合电路、半导体和表面贴装领域.理想的焊接系统，带快速退火功能的焊接回流炉(SRO)，是一个多用途“冷壁”工艺焊炉。SRO是R&D，工艺研发，由低至高产能生产的理想选择。全自动生产能力可有多种方式实现：与粘片机在线集成、与粘片机系统集成、盒对盒晶片传送或带机器人系统的衬底传送. 应用领域主要为无缺陷焊接和无助焊剂焊接、IGBT封装、焊膏工艺、管壳盖板封装、MEMS及真空封装。 此款回流炉专为R&D、制程研发、低/高产量的生产而开发.

　　优势/特点

　　芯片贴装、IGBT/DBC、高真空封装、MEMS 器件封装、IR 传感器/晶体封装、晶圆封装、冷却器/珀尔帖效应、低露点封装、高功率LED、激光条、吸气剂激活、合金处理、晶圆柱/焊球回流、销翅片散热器、支持、倒装芯片3 D-CSP扩散接合,CPV,热压缩成键、销鳍,混合组装,MMIC芯片焊接、功率模块、电动车辆控制、电力的太阳能电池.

　　技术参数/配置

　　"*高温可支持到 1100°C

　　加热板*大尺寸支持到 450 x 450 mm快速升降温

　　◎升温速率 > 3.5°C/秒

　　◎降温速率 > 2°C/秒

　　单片晶圆升温速率 > 50°C/秒

　　每个程序*多可支持100个步骤

　　氧气含量 < 0,1 ppm

　　支持100%纯氢工艺

　　40 kHz/2,45 GHz 等离子

　　工艺

　　极限真空度: ~ 7 x 10-7mbar

　　正压工艺可支持到 3 bar (abs)

　　助焊剂工艺回收系统

　　在线式全自动模式"

公司名称：上海创洋电子科技有限公司

联 系 人：刘婷婷

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